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국내 토종 이솔, EUV 공정용 검사장비 기술 '국제표준안' 선도
IT일반 [지디넷코리아]우리나라 중소기업의 반도체 장비 기술이 국제전기기술위원회(IEC)에 신규 국제표준안(NP, New Proposal)으로 제안됐다. 산업통상자원부 국가기술표준원 진종욱 원장은 15일 첨.. |
ZDNet Korea |
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"초미세 EUV 공정의 미래, 펠리클·포토레지스트에 달렸다"
IT일반 [지디넷코리아] EUV 펠리클 전문회사인 에프에스티는 올해 8인치 웨이퍼 기준 35나노미터 두께로 투과율 83%의 EUV 펠리클을 구현, 나아가 3센티미터 크기로 90%.. |
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