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삼성디스플레이, 첨단 국산장비로 'ALD' 신공정 전환 본격 시동
IT일반 [지디넷코리아]삼성전자가 미래 올레드(OLED) 기술력 강화를 위한 준비에 나선다. 기존 대비 더 정밀한 성능의 증착 공정을 적용하기 위해 주요 협력사인 AP시스템의 신규 ALD(원자층증착) 장비를.. |
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ACM리서치, 중국에 PECVD 장비 납품
IT일반 [지디넷코리아]미국 반도체 실리콘 원판(Wafer·웨이퍼) 처리 회사 ACM리서치는 28일 플라즈마 화학 증착 장비 ‘울트라Pmax’을 출시했다고 밝혔다. ACM은 몇 주 안에 중국 집적회로(IC).. |
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ACM 리서치, LPCVD 장비로 국내 시장 공략
IT일반 [지디넷코리아] 글로벌 장비업체 ACM 리서치가 건식 화학 기상증착 장비로 국내 시장 공략에 나선다.11일 ACM 리서치는 건식 공정용 건식 화학 기상증착(LPCVD) 장비 '울트라 퍼니스(Ultr.. |
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